干涉測(cè)量鏡頭可用在非接觸光學(xué)壓型測(cè)量設(shè)備上,通過(guò)此鏡頭可得到表面位圖和表面測(cè)量參數(shù)等。也可用來(lái)檢測(cè)表面粗糙度,測(cè)量精度非常高,在一個(gè)波長(zhǎng)之內(nèi)。一束光通過(guò)分光鏡,可將光直接射向樣品表面和內(nèi)置反光鏡。從樣品表面反射的光線通過(guò)再結(jié)合,就產(chǎn)生了干涉圖案。與mirau鏡頭比起來(lái),michelson鏡頭擁有更長(zhǎng)的工作距離,更寬的視場(chǎng)和更大的焦深。mirau鏡頭用在需要高倍率和/或大數(shù)值孔徑的場(chǎng)合。采用niko
更新時(shí)間:2025-08-01