干涉測量鏡頭可用在非接觸光學(xué)壓型測量設(shè)備上,通過此鏡頭可得到表面位圖和表面測量參數(shù)等。也可用來檢測表面粗糙度,測量精度非常高,在一個波長之內(nèi)。一束光通過分光鏡,可將光直接射向樣品表面和內(nèi)置反光鏡。從樣品表面反射的光線通過再結(jié)合,就產(chǎn)生了干涉圖案。與mirau鏡頭比起來,michelson鏡頭擁有更長的工作距離,更寬的視場和更大的焦深。mirau鏡頭用在需要高倍率和/或大數(shù)值孔徑的場合。采用niko
更新時間:2025-08-01