xtu-50ax熒光鍍層膜厚儀結(jié)構(gòu)緊湊,有大容量的開槽設(shè)計(jì)樣品腔,即使超過樣品腔尺寸的工件也可以測試。搭配微聚焦射線管和先進(jìn)的光路設(shè)計(jì),以及變焦算法裝置,可測試極微小和異形樣品。檢測78種元素鍍層·0.005um檢出限·最小測量面積0.002mm2最深凹槽可達(dá)90mm。外置的高精密微型滑軌,可以快速控制樣品移動,移動精度0.005mm,速度10-30mm(x-y)/圈,再小的樣品測試都能輕松應(yīng)對。
更新時(shí)間:2025-08-11