μscan采用模塊化設(shè)計(jì),特點(diǎn)是快速測(cè)量、不接觸、不破壞、自動(dòng)化,μscan的中心部件掃描模塊(x/y方向樣品掃描)可以和不同的傳感器,(z方向測(cè)量)連用,如confocal point sensor、autofocus sensor、chromatic white light sensor、holographic sensor等。
適用于科研和生產(chǎn)的高質(zhì)量表面測(cè)量手段contourgt-i 3d 光學(xué)顯微鏡將三十多年表面測(cè)量經(jīng)驗(yàn)和技術(shù)融合到單一平臺(tái)上,實(shí)現(xiàn)調(diào)整校準(zhǔn)自動(dòng)便捷、測(cè)量角度靈活多樣、測(cè)試成像性能優(yōu)異及表面定量測(cè)試方案。
kosaka et200基于 windows xp操作系統(tǒng)為多種不同表面提供全面的形貌分析,包括半導(dǎo)體硅片、太陽(yáng)能硅片、薄膜磁頭及磁盤、mems、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、薄膜/化學(xué)涂層以及平板顯示等。使用金剛石(鉆石)探針接觸測(cè)量的方式來實(shí)現(xiàn)高精度表面形貌分析應(yīng)用。et200 能精確可靠地測(cè)量出表面臺(tái)階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應(yīng)力等多種表面形貌技術(shù)參數(shù)。
s mart的重量約只有s neox的一半(6kg),加上緊湊的外觀使的它在安裝上有更多選擇,例如可以直接在生產(chǎn)在線安裝做分析等。一般來說,在生產(chǎn)的環(huán)境中通常都會(huì)有震動(dòng)或有害物質(zhì)污染等因素而不適合放置量測(cè)儀器,但s mart在開發(fā)時(shí)已經(jīng)考慮這些因素,一體成形的設(shè)計(jì)使得它能承受外部污染或震動(dòng)影響。
可直接用于生產(chǎn)的三維光學(xué)輪廓儀系統(tǒng)。zegage™ pro 和 zegage™ pro hr 三維光學(xué)輪廓儀可對(duì)多種類型表面的微米和納米特征進(jìn)行非接觸式測(cè)量和表征,實(shí)現(xiàn)制造環(huán)境中的質(zhì)量控制和過程監(jiān)控。