microline 系列 主要用于測(cè)量半導(dǎo)體、mems 晶圓、光刻掩模板等尺寸和涂覆物(多層套刻、圓、對(duì)接誤差等)量測(cè)。microline 臨界尺寸測(cè)量系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)用于半導(dǎo)體和mems晶圓以及光掩模cd量測(cè)。microline 系列可自動(dòng)測(cè)量線寬,迭置重合,和其他關(guān)鍵尺寸。microline 裝備有高性能光學(xué)顯微鏡,高精度運(yùn)動(dòng)平臺(tái),可測(cè)量0.5 微
更新時(shí)間:2025-12-11