英國(guó)quorum q150t plus 鍍金鍍碳一體機(jī),是一款優(yōu)化設(shè)計(jì)的帶渦輪分子泵抽真空的鍍膜設(shè)備,真空度可達(dá)5x10-5mbar?梢詾R射具有超細(xì)成膜顆粒的易氧化金屬,適用于高分辨率成像。同樣地,低散射可得到均勻而致密的無(wú)定形碳膜。
德zeiss sigma sem 電子束直寫(xiě)儀,利用曝光抗蝕劑,采用電子束直接曝光,可在各種襯底材料表面直寫(xiě)各種圖形,圖形結(jié)構(gòu)(小線寬為10mm),是研究材料在低維度、小尺寸下量子行為的重要工具。廣泛應(yīng)用于納米器件,光子晶體,低維半導(dǎo)體等沿域。